第902章
还为情报部门提供了大量帮助。
这颗曾经的“定时炸弹”,如今已成了夏国最锋利的“矛”与最坚固的“盾”之一。
兵工厂的会议持续了一上午,离开后,周博又来到了扬子江电子厂。
徐树青和姜明尚一起接待了他。
几人直接来到了芯片实验室里,周博问道:“最新的光刻机怎么样了?”
姜明尚笑而不语,将周博带到一个超净玻璃隔间前。
透过特制玻璃,可以看到一台庞大的设备正在运行。
银灰色的外壳上布满了精密的接口和指示灯。
透着满满的高科技感!
姜明尚语气带着兴奋:“这就是最新的DUV浸润式光刻机DK-1,目前已进入产线验证阶段,分辨精度达到180纳米,套刻后精度可达50纳米!”
“50纳米!”周博露出喜色。
这已经先进芯片的工艺精度了!
姜明尚继续介绍道:“看这里,这是投影物镜系统,采用了自主研发的折反射设计,数值孔径达到了0。75。这是实现高分辨率的关键。”
周博端详着这台庞然大物:“光源系统呢?”
“氩氟激光器,输出波长达到193纳米。”
姜明尚指向光刻机后部的一个密封单元,“这里就是浸润系统。
在一级物镜和硅片之间填充了高纯度去离子水,利用水对光的折射效应,有效将分辨率提升了35%以上。”
“稳定性如何?”
“我们开发了全新的双工作台系统。”姜明尚解释道,“一个工作台在进行曝光时,另一个工作台已经在为下一片晶圆进行测量和对准。这样将产能提升了近一倍,套刻精度控制在3纳米以内。”
周博满意地点头,看得出,姜明尚已经完全掌握了光刻机的设计,完全可以独当一面了。
有了DUV光刻机,芯片的发展就进入了快车道。
他笑了笑:“这一下,硅谷拍马也赶不上我们了!”
姜明尚一笑:“他们连干式光刻机还没折腾明白呢,浸润式,他们最少还需要二十年!”
“二十年,那我们EUV都要出来了!”
“EUV?那是什么东西!”
“呃,这个比较复杂,有时间我们详细聊!”
“好吧!”随即,姜明尚又拿起一块芯片,递给周博。
这枚芯片在灯光下泛着紫色的光泽,密密麻麻的引脚排列整齐,显示出极高的制造工艺水平。
上面有‘龙芯-1’的激光铭文字样。
姜明尚道:“基于全新DUV光刻工艺,你之前设计的龙芯-1已经流片成功!
采用80纳米工艺,集成度比上一代提升了15倍。
覆盖了军用、民用、车规级等各种标准。
未来,将为我们的军事、民用领域提供强大的‘大脑’。”
周博点点头,龙芯是一个全新系列,指令集更先进,功能也更强大,可以保证未来几十年的领先地位。
出了芯片实验室,几人又来到生产车间。
周博再次眼前一亮。